BBIN视讯-娱乐游戏官网

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作為BBIN视讯-娱乐游戏官网公司自主研發的具備三維填充能力的12英寸原子層金屬鎢沈積設備,,,,,,, ,Preforma Uniflex?AW繼承了鎢系列產品的特點,,,,,,, ,可设置五個雙反應臺反應腔,,,,,,, ,有用提高設備生產效率。。。。。。。别的,,,,,,, ,系統中每個反應腔均可用於形核和主體膜層生長,,,,,,, ,可根據客戶實際工藝需求優化设置,,,,,,, ,進壹步提高生產中的設備使用率。。。。。。。Preforma Uniflex?AW接纳完全自主知識產權的高速氣體切換控制系統,,,,,,, ,可精準控制工藝過程,,,,,,, ,實現精準的原子級別生長,,,,,,, ,因此所生長膜層具備優異的臺階覆蓋率和低雜質濃度的優點。。。。。。。Preforma Uniflex?AW還引入獨特的氣體輸送系統,,,,,,, ,進壹步提升性能,,,,,,, ,使該設備具備更先進技術節點的延展能力。。。。。。。該設備也繼承了BBIN视讯-娱乐游戏官网公司自主開發的流場熱場優化設計,,,,,,, ,從而提升薄膜均壹性和工藝調節靈活性。。。。。。。

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Preforma Uniflex? AW

可设置五個雙反應臺反應腔,,,,,,, ,有用提高設備生產效率。。。。。。。

产品特点

雙反應臺及多達五個反應腔的系統

獨立緊湊的反應空間

BBIN视讯-娱乐游戏官网專利的氣體切換系統

高效靈活的工藝調節窗口

自主設計的真空卡盤加熱臺

竞争优势

高生產效率,,,,,,, ,低生產本钱,,,,,,, ,低化學品消耗

優秀的薄膜均壹性和工藝穩定性

優秀的三維結構及復雜結構填充性能

對彎曲度較大的晶圓也具有优异的工藝處理能力

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