





作为BBIN视讯-娱乐游戏官网公司自主研发的产出效率高且性能优异的12英寸CVD金属钨装备,,,,,Preforma Uniflex? CW可无邪设置多达五个双反应台的反应腔,,,,,每个反应腔皆能同时加工两片晶圆,,,,,在包管较低的生产本钱和化学品消耗的同时,,,,,实现较高的生产效率。。。。。。Preforma Uniflex? CW配备了完全拥有自主知识产权的优化混气计划,自主设计优化的分气抽气系统和真空卡盘,,,,,具有优异的薄膜均一性、填充能力和工艺调理无邪性,,,,,关于弯曲度较大的晶圆,,,,,它也具备优异的工艺处置惩罚能力。。。。。。并且其优异的蹊径笼罩率和填充能力,,,,,可以知足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求。。。。。。

为逻辑和存储芯片中金属钨填充提供的高性价比的解决计划
双反应台及多达五个反应腔的系统
自力小巧的反应空间
高效无邪的工艺调理窗口
自主知识产权的优化混气计划
自主设计的优化气体分派的抽气系统
自主设计的优化真空卡盘的加热台
高生产效率,,,,,低生产本钱,,,,,低化学品消耗
优异的薄膜均一性和填充能力
优异的工艺顺应性和兼容性
对弯曲度较大的晶圆也具有优异的工艺处置惩罚能力


