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Preforma Uniflash? TiAl是BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研发的12英寸原子层沉积产品,,,,,,,,可知足先进逻辑器件金属栅应用需求。。。 。。该产品继续BBIN视讯-娱乐游戏官网奇异的双反应台设计,,,,,,,,系统可无邪设置多达五个双反应台反应腔(十个反应台),可有用知足高真空工艺集成需求的同时,,,,,,,,可以抵达业界领先的生产率。。。 。。该产品接纳BBIN视讯-娱乐游戏官网自主开发的温度控制系统设计,,,,,,,,奇异的外貌处置惩罚手艺,,,,,,,,多区气体漫衍系统设计和基于模子算法的加热系统设计等,,,,,,,,可知足先进逻辑客户性能需求的同时,,,,,,,,装备的污染物控制,,,,,,,,薄膜均一性,,,,,,,,生产效率均抵达天下先进水平。。。 。。

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Preforma Uniflash? TiAl

BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研发的12英寸原子层沉积产品,,,,,,,,可知足先进逻辑器件金属栅应用需求。。。 。。

产品特点

双反应台及多达五个反应腔的高真空系统设计

奇异的温度控制系统设计

多区气体漫衍系统设计

基于模子控制的加热系统设计

竞争优势

高生产效率,,,,,,,,低生产本钱(CoO)

优异的污染物控制

更好的薄膜均一性和薄膜间均一性

每个维护周期的晶圆数目大大增添

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