





Preforma Uniflash? TaN是BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研发的12英寸原子层沉积产品,,,,,,,可知足逻辑器件和存储器件多个应用需求。。。。。。该产品继续BBIN视讯-娱乐游戏官网奇异的双反应台设计,,,,,,,系统可无邪设置多达五个双反应台反应腔(十个反应台),可以抵达业界领先的生产率,,,,,,,也可以凭证客户产能实现无邪设置的需求。。。。。。该产品接纳BBIN视讯-娱乐游戏官网自主开发的温度控制系统设计,,,,,,,多区流道设计,,,,,,,多源供应系统设计和可实现高速气体置换效率的腔室设计,,,,,,,可知足先进逻辑和存储客户性能需求的同时,,,,,,,装备的污染物控制,,,,,,,薄膜均一性,,,,,,,生产效率均抵达天下先进水平。。。。。。

BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研发的12英寸原子层沉积产品,,,,,,,可知足逻辑器件和存储器件多个应用需求。。。。。。
双反应台及多达五个反应腔的高真空系统设计
奇异的温度控制系统设计
多区流道设计
多源供应系统设计
高生产效率,,,,,,,低生产本钱(CoO)
优异的污染物控制
更好的薄膜均一性和薄膜间均一性
每个维护周期的晶圆数目大大增添

