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Preforma Uniflash? TaN是BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研发的12英寸原子层沉积产品,,,,,,,可知足逻辑器件和存储器件多个应用需求 。。。。 。。该产品继续BBIN视讯-娱乐游戏官网奇异的双反应台设计,,,,,,,系统可无邪设置多达五个双反应台反应腔(十个反应台),可以抵达业界领先的生产率,,,,,,,也可以凭证客户产能实现无邪设置的需求 。。。。 。。该产品接纳BBIN视讯-娱乐游戏官网自主开发的温度控制系统设计,,,,,,,多区流道设计,,,,,,,多源供应系统设计和可实现高速气体置换效率的腔室设计,,,,,,,可知足先进逻辑和存储客户性能需求的同时,,,,,,,装备的污染物控制,,,,,,,薄膜均一性,,,,,,,生产效率均抵达天下先进水平 。。。。 。。

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Preforma Uniflash? TaN

BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研发的12英寸原子层沉积产品,,,,,,,可知足逻辑器件和存储器件多个应用需求 。。。。 。。

产品特点

双反应台及多达五个反应腔的高真空系统设计

奇异的温度控制系统设计

多区流道设计

多源供应系统设计

竞争优势

高生产效率,,,,,,,低生产本钱(CoO)

优异的污染物控制

更好的薄膜均一性和薄膜间均一性

每个维护周期的晶圆数目大大增添

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