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Preforma Uniflash? TiN是BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研发的12英寸原子层沉积产品,,,,,,,可知足先进逻辑和先进存储器件金属栅应用需求,,,,,,,也可知足阻挡层等应用需求。。 。。。。该产品继续BBIN视讯-娱乐游戏官网奇异的双反应台设计,,,,,,,系统可无邪设置多达五个双反应台反应腔(十个反应台),可有用知足高真空工艺集成需求的同时,,,,,,,可以抵达业界领先的生产率。。 。。。。该产品通过BBIN视讯-娱乐游戏官网专利的多级匀气混气设计,,,,,,,基于模子算法的加热系统设计和可实现高效原子层沉积反应的反应腔流导设计等,,,,,,,可知足先进逻辑客户性能需求的同时,,,,,,,装备的薄膜均一性,,,,,,,污染物控制和生产效率均抵达天下先进水平。。 。。。。

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Preforma Uniflash? TiN

BBIN视讯-娱乐游戏官网自主研发的12英寸原子层沉积产品,,,,,,,可知足先进逻辑和先进存储器件金属栅应用需求,,,,,,,也可知足阻挡层等应用需求。。 。。。。

产品特点

双反应台及多达五个反应腔的系统具备高输出效率

BBIN视讯-娱乐游戏官网专利的多级匀气混气设计和反应腔流导设计

基于模子算法的加热系统设计

BBIN视讯-娱乐游戏官网自主开发的可实现高效气体运送效率和吹扫效率整体设计

竞争优势

高生产效率,,,,,,,低生产本钱(CoO)

优异的污染物控制

更好的薄膜均一性和薄膜间均一性

关于多种重大结构实现优异的台阶笼罩率

每个维护周期的晶圆数目大大增添

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