





作为BBIN视讯-娱乐游戏官网公司自主研发的具备三维填充能力的12英寸原子层金属钨沉积装备,,,,,,,Preforma Uniflex? AW继续了钨系列产品的特点,,,,,,,可设置五个双反应台反应腔,,,,,,,有用提高装备生产效率。。。。。别的,,,,,,,系统中每个反应腔均可用于形核和主体膜层生长,,,,,,,可凭证客户现实工艺需求优化设置,,,,,,,进一步提高生产中的装备使用率。。。。。Preforma Uniflex? AW接纳完全自主知识产权的高速气体切换控制系统,,,,,,,可精准控制工艺历程,,,,,,,实现精准的原子级别生长,,,,,,,因此所生长膜层具备优异的台阶笼罩率和低杂质浓度的优点。。。。。Preforma Uniflex? AW还引入奇异的气体运送系统,,,,,,,进一步提升性能,,,,,,,使该装备具备更先进手艺节点的延展能力。。。。。该装备也继续了BBIN视讯-娱乐游戏官网公司自主开发的流场热场优化设计,,,,,,,从而提升薄膜均一性和工艺调理无邪性。。。。。

可设置五个双反应台反应腔,,,,,,,有用提高装备生产效率。。。。。
双反应台及多达五个反应腔的系统
自力紧凑的反应空间
BBIN视讯-娱乐游戏官网专利的气体切换系统
高效无邪的工艺调理窗口
自主设计的真空卡盘加热台
高生产效率,,,,,,,低生产本钱,,,,,,,低化学品消耗
优异的薄膜均一性和工艺稳固性
优异的三维结构及重大结构填充性能
对弯曲度较大的晶圆也具有优异的工艺处置惩罚能力

