BBIN视讯-娱乐游戏官网

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作为BBIN视讯-娱乐游戏官网公司自主研发的具备超高深宽比及重大结构钨填充能力的12英寸Preforma Uniflex? HW装备,,,,,该装备继续了前代Preforma Uniflex? CW装备的优点,,,,,可无邪设置多达五个双反应台的反应腔,,,,,每个反应腔皆能同时加工两片晶圆,,,,,在包管较低生产本钱的同时,,,,,实现较高的生产效率。。。。 。 。。Preforma Uniflex? HW接纳完全自主知识产权的生长梯度抑制工艺,,,,,可实现外貌从钝化主导到刻蚀主导的精准工艺调控。。。。 。 。。硬件上,,,,,BBIN视讯-娱乐游戏官网公司开发的可实现钝化时间从毫秒级到千秒级的控制系统,,,,,可知足多种重大结构的填充。。。。 。 。。别的,,,,,搭配经由优化设计的流场热场系统,,,,,使该装备具备优异的薄膜均一性和工艺调理无邪性。。。。 。 。。

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Preforma Uniflex? HW

可无邪设置多达五个双反应台的反应腔,,,,,每个反应腔皆能同时加工两片晶圆。。。。 。 。。

产品特点

双反应台反应腔及多达五个反应腔的系统

自力紧凑的反应空间

高效无邪的工艺调理窗口

自主知识产权精准抑制工艺设计

自主设计的真空卡盘加热台

竞争优势

高生产效率,,,,,低生产本钱,,,,,低化学品消耗

优异的薄膜均一性和工艺稳固性

优异的高深孔填充能力和较强的差别重大结构兼容适配性

对弯曲度较大的晶圆也具有优异的工艺处置惩罚能力

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